潔凈室的溫濕度主要是根據工藝要求來(lái)確定的。在滿(mǎn)足工藝要求的條件下,應考慮人的喜好。不同行業(yè)的潔凈室都有不同的溫濕度控制范圍,對監測儀器也有不同的要求。本章將從半導體行業(yè)來(lái)探討潔凈室的溫濕度方案。
面板顯示、微機電、晶圓、芯片等高精尖要求的半導體行業(yè)加工精度越精細,對溫濕度波動(dòng)的范圍要求越小。如在大規模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數的差要求越來(lái)越小。直徑100um的硅片,溫度上升1℃,就會(huì )引起0.24um線(xiàn)性膨脹。在這樣的情境下,溫度需要準確控制,避免影響產(chǎn)品的質(zhì)量。
半導體潔凈室溫濕度影響簡(jiǎn)述:
潔凈室內溫度的影響主要是從產(chǎn)品精度,合格率以及污染的角度(溫度升高后,會(huì )引起人出汗,汗水會(huì )對產(chǎn)品產(chǎn)生污染,特別是怕鈉的半導體車(chē)間)來(lái)考慮的。越精細、集成度高的電子加工,對溫度的敏感性越大。
濕度太高會(huì )使物體表面的灰塵難以清除,但是相對濕度低于30%時(shí),又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于物體表面,靜電會(huì )使半導體器件發(fā)生擊穿。
按照半導體生產(chǎn)工藝的特點(diǎn),潔凈室一般溫度控制在20-25℃,濕度控制在50-60%RH,這個(gè)范圍不但滿(mǎn)足了生產(chǎn)工藝的要求,而且人在這樣的環(huán)境下也感到舒服。
羅卓尼克溫濕度監測:
羅卓尼克溫濕度變送器憑借其準確、穩定、易用等的特性贏(yíng)得了半導體客戶(hù)的青睞。無(wú)錫徽科特服務(wù)的半導體客戶(hù)不斷增多,如維信諾、惠科光電,廈門(mén)天馬等,他們對溫濕度的控制都很?chē)栏?,羅卓尼克的HF1,HF5成為了他們選擇的明星款產(chǎn)品。這兩款變送器很好的滿(mǎn)足了客戶(hù)對儀器高精度、長(cháng)期穩定、帶顯示和分析儀在線(xiàn)校準功能,可以為生產(chǎn)運營(yíng)提供關(guān)鍵控制和監測數據的需求。
HF1溫濕度變送器:
HF1系列是測量相對濕度和溫度的經(jīng)濟款變送器,性?xún)r(jià)比高??蛇xSW21軟件進(jìn)行變更量程并對變送器進(jìn)行校準和標定。
•23℃±5℃精度:±2%RH/±0.3℃;±1.5%RH/±0.2℃(升級版)
•測量范圍:0至100%RH/-20℃至60℃
•體積小巧,容易安裝
•USB接口
•工廠(chǎng)校準35%RH,80%RH
•提供OEM定制型號和精度
HF5溫濕度變送器:
HF5系列變送器可配合所有帶AirChip芯片的HC2探頭使用。由于探頭的高精度,HF5系列變送器能夠完成高精度的測量。其探頭更換簡(jiǎn)單輕松,自帶實(shí)體按鈕可現場(chǎng)輕松校準,屏幕背光可調節。
•精度:10℃至30℃時(shí),±0.8%RH,±0.1℃(常用精度)
•測量范圍:-50至100℃/0至100%RH(常用范圍)
•數字輸出,可以與模擬量輸出結合使用
•可以提供多種濕度學(xué)參數輸出
•HF5軟件任意點(diǎn)校準,保持更穩定、準確的精度
•可以作為系統驗證模擬器使用
•可選防爆款
•提供OEM定制型號,可選其他探頭